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排气阀浸在油里以防止大气流入泵中。真空泵油通过油孔及排气阀进入泵腔，使泵腔内所有的运动表面被油覆盖★★，形成了吸气腔与排气腔之间的密封★★★。
单级旋片泵只有一个工作室凯发体育下载注册首页，泵主要由定子、旋片★★、转子组成★★。在泵腔内偏心地装有转子，转子槽中装有两块旋片，由于弹簧弹力作用而紧贴于缸壁(转动后还有旋片离心力)★★。转子和旋片将定子腔分成吸气和排气两部分。
泵工作一段时间后，由于高真空级进气时压力大大降低，其出口压力也很小凯发体育下载注册首页★★★，这样B室进出气口的压力差也较小，被压缩气体返回的数量也相应减少;同时，后级泵中易蒸发的油分子不断被前级A室抽走，油蒸气的分压减少了，因而双级泵的油污染比单级小，极限真空度将大大提高。
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双级旋片真空泵由两个工作室组成。两室前后串联，同向等速旋转，A室是B室的前级★★，A是低真空级，B是高真空级。被抽气体经高真空级(B室) 进入前级，由排气阀排出泵外。前级(A)和单级泵一样★★，随时有油进入泵腔，而高真空级(B)仅在开始工作时存有少量的油★★，工作一段时间后，便没有油进入泵腔了★★。当泵开始工作，且吸入气体的压力较高时(例如从大气压力开始抽气)，气体经B室压缩，压力急增，则被压缩的气体的一部分直接从辅助排气阀(1)排出，另一部分则经由前级排出凯发体育下载注册首页。
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